檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "Nai-Jian Wang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="定向自組裝"
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定向自組裝多圖案混合式微影(directed selfassembly technology with multiple patterning lithography)非常適用於製造 10 奈米以下…
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定向自組裝 (directed self-assembly technology) 的技術在10 奈米以 下的導通孔 (contact/via) 的製造上展現了其優勢,為了讓導通孔有 足夠的重疊精度…
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在現代的科技蓬勃發展下,半導體製造進入了次10 奈米的技術節點,關鍵尺寸的微小化使得下一世代微影技術被迫切地需要,其中,團鏈共聚物定向自組裝微影技術已經證明其用於製作導通孔的可能性。除此之外,後佈局…